Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Кагадей, В. А. Валерий Алексеевич (Author), Анищенко, Е. В. Екатерина Валентиновна (Author)
Corporate Author:	Министерство образования и науки РФ21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Published:	Томск: В-Спектр 2011
Series:	Образовательная программа переподготовки
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ ГЕТТЕРИРОВАНИЕ ПАССИВАЦИЯ СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА FEOL BEOL
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items