Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Кагадей, В. А. Валерий Алексеевич (Автор), Анищенко, Е. В. Екатерина Валентиновна (Автор)
Соавтор: Министерство образования и науки РФ21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат: Книга
Публикация: Томск: В-Спектр 2011
Серии:Образовательная программа переподготовки
Предметы:
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ
ГЕТТЕРИРОВАНИЕ
ПАССИВАЦИЯ
СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ
ТРАВЛЕНИЕ
ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ
ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА
FEOL
BEOL
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы