Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главный автор:	Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Автор)
Соавтор:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: ТУСУР 2010
Серии:	Образовательная программа переподготовки
Предметы:	ИНФРАКРАСНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ЛАЗЕРНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Описание
Объем:	115 с.: а-ил
Библиография:	Библиогр.: с. 113

Похожие документы