Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Author:	Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Author)
Corporate Author:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2010
Series:	Образовательная программа переподготовки
Subjects:	ИНФРАКРАСНАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ЛАЗЕРНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ДИФРАКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Description
Physical Description:	115 с.: а-ил
Bibliography:	Библиогр.: с. 113

Similar Items