Смирнов, С. В. С. В. (2010). Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: лабораторный практикум. ТУСУР.
Chicago-стиль цитированияСмирнов, С. В. Серафим Всеволодович. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: лабораторный практикум. Томск: ТУСУР, 2010.
MLA-цитированиеСмирнов, С. В. Серафим Всеволодович. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: лабораторный практикум. ТУСУР, 2010.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.