Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: лабораторный практикум/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск:
ТУСУР
2010
|
| Series: | Образовательная программа переподготовки
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 97 с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр. в конце работ |