Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: лабораторный практикум/
| Главный автор: | Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Министерство образования и науки Российской Федерации21 Государственная корпорация "Российская корпорация нанотехнологий"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
ТУСУР
2010
|
| Серии: | Образовательная программа переподготовки
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие/
по: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович
Публикация: (2010) - Pressure-Induced Hydrogen Bond Symmetrization in Iron Oxyhydroxide
-
Spectroscopy of polymers
по: Koenig, Jack L.
Публикация: (1999) - Label-free laser spectroscopy for respiratory virus detection: A review
-
Методы исследования надежности наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие/
по: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович
Публикация: (2010)
