Кинетика и механизм термического окисления кремния: научное издание/
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Воронеж:
Издательство Воронежского университета
1983
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 196 с. |
|---|