Кинетика и механизм термического окисления кремния: научное издание/

Библиографическая информация
Главный автор: Анохин, В. З. Валентин Захарович (Автор)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Воронеж: Издательство Воронежского университета 1983
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01093nam a2200181 i 4500
001 LibTUSUR0000049030
008 111028s1983 ru_ l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
100 1 |a Анохин, В. З.  |q Валентин Захарович  |4 aut 
245 0 0 |a Кинетика и механизм термического окисления кремния:   |b научное издание/  |c В. З. Анохин 
260 |a Воронеж:  |b Издательство Воронежского университета  |c 1983 
300 |a 196 с. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a НЕОРГАНИЧЕСКАЯ ХИМИЯ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 54  |i А 697  |p 205828  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 54  |i А 697  |p 205829  |b аунл 
080 |a 546 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=54/А 697-951711