Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники": учебное пособие/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
МИЭТ
2011
|
| Series: | Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 196 с.: а-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр. в конце глав |
| ISBN: | 978572560662-1 |