Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоморфных НЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта-легированием: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 05.27.01 - Климов, Е. А. Евгений Александрович (2012)