Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.09.01/

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.09.01/

Bibliographic Details
Main Author: Ляпунов, Д. Ю. Данил Юрьевич (Author)
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Other Authors: Бекишев, Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Format: Book
Published: Томск 2010
Subjects:
ОПТИМИЗАЦИЯ РАЗМЕРОВ ЭЛЕКТРОДОВ
СЕНСОРНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
АКТЮАТОРНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ
ЭНЕРГОЕМКОСТЬ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
АВТОРЕФЕРАТЫ
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004617801?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:21 с.: а-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 19-21

Similar Items