Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.09.01/

Библиографическая информация
Главный автор: Ляпунов, Д. Ю. Данил Юрьевич (Автор)
Соавтор: Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Другие авторы: Бекишев, Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Формат: Книга
Публикация: Томск 2010
Предметы:
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004617801?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 02014nam a2200277 i 4500
001 LibTUSUR0000051872
008 120315s2010 ru_а l000 0yrus d
020 |c р10.00 
040 |a zaret 
100 1 |a Ляпунов, Д. Ю.  |q Данил Юрьевич  |4 aut 
245 0 0 |a Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами:   |b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.09.01/  |c Д. Ю. Ляпунов ; науч. рук. Р. Ф. Бекишев; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск) 
260 |a Томск  |c 2010 
300 |a 21 с.:  |b а-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 19-21 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a ОПТИМИЗАЦИЯ РАЗМЕРОВ ЭЛЕКТРОДОВ 
653 0 |a СЕНСОРНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 
653 0 |a АКТЮАТОРНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ 
653 0 |a ЭНЕРГОЕМКОСТЬ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ 
653 0 |a АВТОРЕФЕРАТЫ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h А  |i Л 975  |p 427925  |b счз1 
080 |a 621.313-181.48:621.382.049.772(043.3) 
700 1 |a Бекишев, Р. Ф.  |q Рудольф Фридрихович 
710 2 1 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск) 
856 4 |u https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004617801?page=1&rotate=0&theme=white 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=А/Л 975-820907