Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.09.01/

Библиографическая информация
Главный автор: Ляпунов, Д. Ю. Данил Юрьевич (Автор)
Соавтор: Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Другие авторы: Бекишев, Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Формат: Книга
Публикация: Томск 2010
Предметы:
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004617801?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР