Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.09.03/

Библиографическая информация
Главный автор: Нечаев, М. А. Михаил Анатольевич (Автор)
Соавтор: Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Другие авторы: Бекишев, Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Формат: Книга
Публикация: Томск 2010
Предметы:
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004617789?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:20 с.: а-ил.
Библиография:Библиогр.: с. 19-20