Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.09.03/

Bibliographic Details
Main Author:	Нечаев, М. А. Михаил Анатольевич (Author)
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Other Authors:	Бекишев, Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Format:	Book
Published:	Томск 2010
Subjects:	ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ИМИТАЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ ЭЛЕКТРОПРИВОДЫ СКАНИРОВАНИЯ АВТОРЕФЕРАТЫ
Online Access:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01004617789?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Description
Physical Description:	20 с.: а-ил.
Bibliography:	Библиогр.: с. 19-20

Similar Items