Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 138 с.: а-ил. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 121-138 |