Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы: Сборник статей/
| Другие авторы: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Мир
1980
|
| Серии: | Новости физики твердого тела;
Вып. 10 |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 336 с. |
|---|