Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы: Сборник статей/

Bibliographic Details
Other Authors: Вавилов, В. С. (Editor)
Format: Book
Language:Russian
Published: М.: Мир 1980
Series:Новости физики твердого тела; Вып. 10
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01024nam a2200181 i 4500
001 LibTUSUR0000057133
008 121224u1980 ru_ l000 0yrus d
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы:   |b Сборник статей/  |c ред. пер. В. С. Вавилов 
260 |a М.:  |b Мир  |c 1980 
300 |a 336 с. 
440 0 |a Новости физики твердого тела;   |v Вып. 10 
546 |a Пер. с англ. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i И 755  |p 190190  |b аунл 
080 |a 621.315.5(063)  |a 539.2(063) 
700 1 |a Вавилов, В. С.  |4 edt 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.315/И 755-388052