Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./ Ч. 1, Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование/М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева

Bibliographic Details
Main Authors:	Королев, М. А. Михаил Александрович (Author), Крупкина, Т. Ю. Татьяна Юрьевна (Author), Ревелева, М. А. Марина Александровна (Author)
Other Authors:	Чаплыгин, Ю. А. (Editor)
Format:	Book
Published:	М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2010
Series:	Электроника
Subjects:	ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ДИФФУЗИЯ ЭПИТАКСИЯ ЛЕГИРОВАНИЕ ЛИТОГРАФИЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ ФОТОЛИТОГРАФИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items