Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./ Ч. 2, Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования/М. А. Королев [и др.]

Bibliographic Details
Main Authors:	Королев, М. А. Михаил Александрович (Author), Крупкина, Т. Ю. Татьяна Юрьевна (Author), Путря, М. Г. Михаил Георгиевич (Author), Шевяков, В. И. Василий Иванович (Author)
Other Authors:	Чаплыгин, Ю. А. Юрий Александрович (Editor)
Format:	Book
Published:	М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2012
Series:	Электроника
Subjects:	МАСШТАБИРОВАНИЕ ИЗОЛЯЦИЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ АНИЗОТРОПИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОГРАММНЫЕ СРЕДСТВА УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items