Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./ Ч. 2, Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования/М. А. Королев [и др.]

Bibliographic Details
Main Authors:	Королев, М. А. Михаил Александрович (Author), Крупкина, Т. Ю. Татьяна Юрьевна (Author), Путря, М. Г. Михаил Георгиевич (Author), Шевяков, В. И. Василий Иванович (Author)
Other Authors:	Чаплыгин, Ю. А. Юрий Александрович (Editor)
Format:	Book
Published:	М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2012
Series:	Электроника
Subjects:	МАСШТАБИРОВАНИЕ ИЗОЛЯЦИЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ АНИЗОТРОПИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОГРАММНЫЕ СРЕДСТВА УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР


LEADER	04922nam a2200757 i 4500
001	LibTUSUR0000057557
008	130122s2012 ru_a l000 0yrus d
020			\|a 978594774585-6 \|c р278.30
040			\|a zaretiluk \|b rus
245	0	0	\|a Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: \|b учебное пособие для вузов: в 2 ч./ \|c ред. Ю. А. Чаплыгин. \|n Ч. 2, \|p Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования/М. А. Королев [и др.]
260			\|a М.: \|b БИНОМ. Лаборатория знаний \|c 2012
300			\|a 423 с.: \|b a-ил
440		0
440		0	\|a Электроника
504			\|a Библиогр.: с. 410-422
535	2		\|a Библиотека ТУСУР \|d https://lib.tusur.ru
653	0		\|a МАСШТАБИРОВАНИЕ
653	0		\|a ИЗОЛЯЦИЯ
653	0		\|a МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
653	0		\|a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
653	0		\|a АНИЗОТРОПИЯ
653	0		\|a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
653	0		\|a ПРОГРАММНЫЕ СРЕДСТВА
653	0		\|a УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440759 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440760 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440761 \|b счз1
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440762 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440763 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440764 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440765 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440766 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440767 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440768 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440769 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440770 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440771 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440772 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 440773 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446890 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446891 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446892 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446893 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446894 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446895 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446896 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446897 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446898 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446899 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446900 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446901 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446902 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446903 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446904 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446905 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446906 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446907 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446908 \|b аунл
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h 621.382 \|i Т 384 \|p 446909 \|b аунл
080			\|a 621.382.049.77(075.8)
700	1		\|a Королев, М. А. \|q Михаил Александрович \|4 aut
700	1		\|a Крупкина, Т. Ю. \|q Татьяна Юрьевна \|4 aut
700	1		\|a Путря, М. Г. \|q Михаил Георгиевич \|4 aut
700	1		\|a Шевяков, В. И. \|q Василий Иванович \|4 aut
700	1		\|a Чаплыгин, Ю. А. \|q Юрий Александрович \|4 edt
856			\|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР \|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Т 384-625099

Similar Items