LEADER 02213nam a2200421 i 4500
001 LibTUSUR0000057558
008 130122s2010 ru_a l000 0yrus d
020 |a 978594774909-0  |c р220.00 
040 |a Библиотека ТУСУР  |b rus 
245 0 0 |a Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники:  |b учебное пособие для вузов: в 2 ч..  |p Ч. 1/А. А. Раскин, В. К. Прокофьева 
260 |a М.:  |b БИНОМ. Лаборатория знаний  |c 2010 
300 |a 165 с.:  |b a-ил. 
440 0
504 |a Библиогр.: с. 164 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ 
653 0 |a РАФИНИРОВАНИЕ 
653 0 |a МОНОКРИСТАЛЛЫ 
653 0 |a НАНОЭЛЕКТРОНИКА 
653 0 |a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА 
653 0 |a ОПТОЭЛЕКТРОНИКА 
653 0 |a ОЧИСТКА 
653 0 |a ПОЛУПРОВОДНИКИ 
653 0 |a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ 
653 0 |a КРЕМНИЙ 
653 0 |a АДСОРБЦИЯ 
653 0 |a АБСОРБЦИЯ 
653 0 |a ЭКСТРАКЦИЯ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Т 384  |p 440774  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Т 384  |p 440775  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Т 384  |p 440776  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Т 384  |p 440777  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Т 384  |p 440778  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.315  |i Т 384  |p 440779  |b аунл 
080 |a 621.315.592-022.532(075.8) 
700 1 |a Раскин, А. А.  |q Александр Александрович  |4 aut 
700 1 |a Прокофьева, В. К.  |q Виолетта Константиновна  |4 aut 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.315/Т 384-579286