Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/

Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/

Bibliographic Details
Main Author: Линник, С. А. Степан Андреевич (Author)
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Other Authors: Ремнев, Г. Е. Геннадий Ефимович
Format: Book
Published: Томск: Издательство ТПУ 2013
Subjects:
АВТОРЕФЕРАТЫ
ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ
ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ
ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ
ПЛАЗМА
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01005060330?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:25 с.: a-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 24

Similar Items