Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
Издательство ТПУ
2013
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01005060330?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 25 с.: a-ил. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 24 |