Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/

Bibliographic Details
Main Author: Линник, С. А. Степан Андреевич (Author)
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Other Authors: Ремнев, Г. Е. Геннадий Ефимович
Format: Book
Published: Томск: Издательство ТПУ 2013
Subjects:
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01005060330?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01977nam a2200289 i 4500
001 LibTUSUR0000060624
008 130925s2013 ru_aa l000 0yrus d
020 |c р10.00 
040 |a l  |b rus 
100 1 |a Линник, С. А.  |q Степан Андреевич  |4 aut 
245 0 0 |a Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде:   |b автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/  |c С. А. Линник ; науч. рук. Г. Е. Ремнев; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск) 
260 |a Томск:  |b Издательство ТПУ  |c 2013 
300 |a 25 с.:  |b a-ил. 
504 |a Библиогр.: с. 24 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a АВТОРЕФЕРАТЫ 
653 0 |a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ 
653 0 |a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ 
653 0 |a АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ 
653 0 |a ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ 
653 0 |a ПЛАЗМА 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h А  |i Л 594  |p 447313  |b счз1 
080 |a 539.216.2:537.52(043.3) 
700 1 |a Ремнев, Г. Е.  |q Геннадий Ефимович 
710 2 1 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск) 
856 4 |u https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01005060330?page=1&rotate=0&theme=white 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=А/Л 594-036568