Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07/

Bibliographic Details
Main Author:	Линник, С. А. Степан Андреевич (Author)
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Other Authors:	Ремнев, Г. Е. Геннадий Ефимович
Format:	Book
Published:	Томск: Издательство ТПУ 2013
Subjects:	АВТОРЕФЕРАТЫ ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ ПЛАЗМА
Online Access:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01005060330?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items