Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники: учебное пособие/
| Главные авторы: | , , |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Техносфера
2009
|
| Редактирование: | 2-е изд., доп |
| Серии: | Мир материалов и технологий;
VI-24 |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 368 с.: a-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр. в конце глав |
| ISBN: | 978594836209-0 |
