Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники: учебное пособие/
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Техносфера
2009
|
| Edition: | 2-е изд., доп |
| Series: | Мир материалов и технологий;
VI-24 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 368 с.: a-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр. в конце глав |
| ISBN: | 978594836209-0 |