Методы исследования материалов и структур электроники: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104.65 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", направления 210100.62 "Электроника и микроэлектроника", направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", 210100.62 "Электроника и наноэлектроника", 210600.62 "Нанотехнология"/

Bibliographic Details
Main Authors: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Author), Чистоедова, И. А. (Author)
Corporate Author: Министерство образования и науки Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)21 Кафедра физической электроники
Format: Book
Published: Томск: ТУСУР 2012
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:52 с.: a-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 47