Методы исследования материалов и структур электроники: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104.65 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", направления 210100.62 "Электроника и микроэлектроника", направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", 210100.62 "Электроника и наноэлектроника", 210600.62 "Нанотехнология"/

Библиографическая информация
Главные авторы: Смирнов, С. В. Серафим Всеволодович (Автор), Чистоедова, И. А. (Автор)
Соавтор: Министерство образования и науки Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)21 Кафедра физической электроники
Формат: Книга
Публикация: Томск: ТУСУР 2012
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:52 с.: a-ил.
Библиография:Библиогр.: с. 47