Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике"/

Библиографическая информация
Главный автор: Мухачев, В. А. (Автор)
Соавтор: Минобрнауки России(М.)21 ФГБОУ ВПО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск) Каф. физической электроники
Формат: Книга
Публикация: Томск 2015
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:23 б.: a-рис.
Библиография:Библиогр.: с. 22