Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике"/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск
2015
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 23 б.: a-рис. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 22 |
