Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков: монография/
| Main Authors: | , , , , |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск:
Изд-во ТУСУРа
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 188 с.: a-рис. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр. в конце разд. |
| ISBN: | 978586889773-3 |
