Импульсный биполярный источник питания для магнетронных распылительных систем: автореферат дисс. на соиск. ученой степ. канд. технических наук. Спец. 05.09.12 - Силовая электроника/
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01006652587?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 20 с.: a-граф. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 19-20 |
