Импульсный биполярный источник питания для магнетронных распылительных систем: автореферат дисс. на соиск. ученой степ. канд. технических наук. Спец. 05.09.12 - Силовая электроника/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
2016
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01006652587?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 20 с.: a-граф. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 19-20 |