APA (7th ed.) Citation

Кулевой, Т. В. Т. В. (2019). Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04. б. и.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Кулевой, Т. В. Тимур Вячеславович. Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04. Томск: б. и, 2019.

MLA (8th ed.) Citation

Кулевой, Т. В. Тимур Вячеславович. Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04. б. и, 2019.