|
|
|
|
| LEADER |
01947nam a2200253 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000076080 |
| 008 |
201102s2019 ru_ l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|c р1.00
|
| 040 |
|
|
|a torina
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Кулевой, Т. В.
|q Тимур Вячеславович
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации:
|b диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/
|c Т. В. Кулевой; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
|
| 260 |
|
|
|a Томск:
|b б. и.
|c 2019
|
| 300 |
|
|
|a 252 с.
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a МНОГОЗАРЯДНЫЕ ИОНЫ
|
| 653 |
0 |
|
|a ВАКУУМНАЯ ДУГА
|
| 653 |
0 |
|
|a МАГНИТНОЕ ПОЛЕ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК
|
| 653 |
0 |
|
|a СИСТЕМА ТРАНСПОРТИРОВКИ
|
| 653 |
0 |
|
|a ИМИТАЦИОННЫЕ ЭКСПЕРИМЕНТЫ
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.3
|i К 901
|p 460326
|b сбо
|
| 080 |
|
|
|a 621.384.6
|a 537.57
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.3/К 901-790379
|