Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author: Кулевой, Т. В. Тимур Вячеславович (Author)
Corporate Author: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск: б. и. 2019
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01947nam a2200253 i 4500
001 LibTUSUR0000076080
008 201102s2019 ru_ l000 0yrus d
020 |c р1.00 
040 |a torina  |b rus 
100 1 |a Кулевой, Т. В.  |q Тимур Вячеславович  |4 aut 
245 0 0 |a Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации:   |b диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/  |c Т. В. Кулевой; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" 
260 |a Томск:  |b б. и.  |c 2019 
300 |a 252 с. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a МНОГОЗАРЯДНЫЕ ИОНЫ 
653 0 |a ВАКУУМНАЯ ДУГА 
653 0 |a МАГНИТНОЕ ПОЛЕ 
653 0 |a ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК 
653 0 |a СИСТЕМА ТРАНСПОРТИРОВКИ 
653 0 |a ИМИТАЦИОННЫЕ ЭКСПЕРИМЕНТЫ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.3  |i К 901  |p 460326  |b сбо 
080 |a 621.384.6  |a 537.57 
710 2 1 |a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск) 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.3/К 901-790379