Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04 - Кулевой, Т. В. Тимур Вячеславович (б. и., 2019)