Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск:
б. и.
2019
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |