Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск:
б. и.
2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |