Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: автореферат ... кандидата технических наук: 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author: Кулевой, Т. В. Тимур Вячеславович (Author)
Corporate Author: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск: б. и. 2019
Subjects:
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008588995?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 02101nam a2200277 i 4500
001 LibTUSUR0000076081
008 201102s2019 ru_ l000 0yrus d
020 |c р1.00 
040 |a torina  |b rus 
100 1 |a Кулевой, Т. В.  |q Тимур Вячеславович  |4 aut 
245 0 0 |a Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации:   |b автореферат ... кандидата технических наук: 01.04.04/  |c Т. В. Кулевой; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" 
260 |a Томск:  |b б. и.  |c 2019 
300 |a 35 с. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a МНОГОЗАРЯДНЫЕ ИОНЫ 
653 0 |a ВАКУУМНАЯ ДУГА 
653 0 |a МАГНИТНОЕ ПОЛЕ 
653 0 |a ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК 
653 0 |a СИСТЕМА ТРАНСПОРТИРОВКИ 
653 0 |a ИМИТАЦИОННЫЕ ЭКСПЕРИМЕНТЫ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h А  |i К 901  |p 460327  |b сбо 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h А  |i К 901  |p 460328  |b счз1 
080 |a 621.384.6  |a 537.57 
710 2 1 |a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск) 
856 4 |u https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008588995?page=1&rotate=0&theme=white 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=А/К 901-531645