Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: автореферат ... кандидата технических наук: 01.04.04/
| Главный автор: | Кулевой, Т. В. Тимур Вячеславович (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск) |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск:
б. и.
2019
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008588995?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/
по: Кулевой, Т. В. Тимур Вячеславович
Публикация: (2019) - Генерация многозарядных ионов металлов в плазме вакуумного дугового разряда
- Получение пучков многозарядных ионов висмута в ионном источнике на основе вакуумной дуги с субмикросекундной длительностью импульса
- Скоростная видеоспектроскопия сильноточного вакуумно-дугового разряда с медь-хромовыми электродами
-
Эктоны
по: Месяц, Геннадий Андреевич 1936-
Публикация: (1994)
