Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации: автореферат ... кандидата технических наук: 01.04.04/

Библиографическая информация
Главный автор: Кулевой, Т. В. Тимур Вячеславович (Автор)
Соавтор: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск: б. и. 2019
Предметы:
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008588995?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы