Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04/

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author: Филлипов, И. А. Иван Андреевич (Author)
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский государственный университет(Томск)21 Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук(Москва)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2020
Subjects:
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ТРАНЗИСТОРЫ
УЗКОНАПРАВЛЕННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
НАПРЯЖЕНИЕ
ТРАВЛЕНИЕ
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01010255023?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:22 с.

Similar Items