Юшков, Ю. Ю. Г., & Окс, Е. М. Е. М. (2020). Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: автореферат дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника.
Chicago-стиль цитированияЮшков, Ю.Г. Юрий Георгиевич, and Е. М. Ефим Михайлович Окс. Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: автореферат дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника. Томск, 2020.
MLA-цитированиеЮшков, Ю.Г. Юрий Георгиевич, and Е. М. Ефим Михайлович Окс. Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: автореферат дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника. 2020.
