Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: автореферат дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/

Библиографическая информация
Главный автор: Юшков, Ю.Г. Юрий Георгиевич (Автор)
Другие авторы: Окс, Е. М. Ефим Михайлович
Формат: Книга
Публикация: Томск 2020
Предметы:
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01010258680?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:32 с.: a-граф.
Библиография:Библиогр.: с. 28-32