|
|
|
|
| LEADER |
01668nam a2200277 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000076633 |
| 008 |
210121s2020 ruraa l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|c р01.00
|
| 040 |
|
|
|a torina
|
| 100 |
1 |
|
|a Юшков, Ю.Г.
|q Юрий Георгиевич
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками:
|b автореферат дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
|c Ю. Г. Юшков ; науч. конс. Е. М. Окс
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 2020
|
| 300 |
|
|
|a 32 с.:
|b a-граф.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 28-32
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a ИСПАРЕНИЕ
|
| 653 |
0 |
|
|a СИНТЕЗ
|
| 653 |
0 |
|
|a ПУСКОВАЯ ПЛАЗМА
|
| 653 |
0 |
|
|a ИСПАРЕНИЕ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОВОДИМОСТЬ
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h А
|i Ю 963
|p 460710
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h А
|i Ю 963
|p 460711
|b сбо
|
| 080 |
|
|
|a 537.533
|
| 700 |
1 |
|
|a Окс, Е. М.
|q Ефим Михайлович
|
| 856 |
4 |
|
|u https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01010258680?page=1&rotate=0&theme=white
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=А/Ю 963-988667
|
