Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: автореферат дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск
2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01010258680?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |