Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника - Юшков, Ю.Г. Юрий Георгиевич (2021)