Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/

Библиографическая информация
Главный автор: Юрьева, А. В. Алена Викторовна (Автор)
Соавтор: Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)21 Институт физики прочности и материаловедения СО РАН(Томск)
Формат: Книга
Публикация: Томск 2017
Предметы:
Online-ссылка:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008711827?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы