Параметры и характеристики пучковой плазмы, генерируемой в форвакуумной области давлений электронным источником с плазменным катодом: автореферат диссертации ... кандидата физико-математических наук: 01.04.04/

Параметры и характеристики пучковой плазмы, генерируемой в форвакуумной области давлений электронным источником с плазменным катодом: автореферат диссертации ... кандидата физико-математических наук: 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author: Золотухин, Д. Б. Денис Борисович (Author)
Corporate Author: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск) кафедра сверхвысокочастотной и квантовой радиотехники21 Институт электрофизики Уральского отделения РАН(Екатеринбург)
Format: Book
Published: Томск 2016
Subjects:
НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ
ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
ГАЗОВЫЕ РАЗРЯДЫ
ДИАПАЗОН ДАВЛЕНИЙ
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01006660137?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:19 с.: a-рис.

Similar Items