LEADER 02763nam a2200409 i 4500
001 LibTUSUR0000078204
008 211004s2020 ru_aa l000 0yrus d
020 |a 978586889891-4  |c р354.00 
040 |a torina  |b rus 
245 0 0 |a Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий:   |b учебное пособие/  |c Д. Б. Золотухин [и др.] ; рец.: Н. Н. Коваль, М. И. Ломаев; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) (Томск) 
260 |a Томск:  |b Издательство ТУСУРа  |c 2020 
300 |a 172 с.:  |b a-рис. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a ЗАРЯЖЕННАЯ ЧАСТИЦА 
653 0 |a ТВЕРДОЕ ТЕЛО 
653 0 |a СВОЙСТВО МАТЕРИАЛА 
653 0 |a ИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 
653 0 |a ПРОМЫШЛЕННОСТЬ 
653 0 |a НАПРАВЛЕНИЕ ДВИЖЕНИЯ 
653 0 |a ТОРМОЗНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ 
653 0 |a ЗАЩИТА 
653 0 |a РЕНТГЕНОВСКИЕ ЛУЧИ 
653 0 |a ТЕМПЕРАТУРА 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.384  |i Ф 505  |p 461527  |b счз1 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.384  |i Ф 505  |p 461620  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.384  |i Ф 505  |p 461621  |b аунл 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 621.384  |i Ф 505  |p 462335  |b аунл 
080 |a 621.384-047.84:621.38.533.9(075.8) 
700 1 |a Золотухин, Д. Б.  |q Денис Борисович  |4 aut 
700 1 |a Тюньков, А. В.  |q Андрей Владимирович  |4 aut 
700 1 |a Климов, А. С.  |q Александр Сергеевич  |4 aut 
700 1 |a Окс, Е. М.  |q Ефим Михайлович  |4 aut 
700 1 |a Юшков, Ю. Г.  |4 aut 
700 1 |a Коваль, Н. Н. 
700 1 |a Ломаев, М. И. 
710 2 1 |a Министерство науки и высшего образования Российской Федерации21  |a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР)(Томск) 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.384/Ф 505-983978